Vörulýsing
Hálfleiðara keramikstútar þjóna sem mikilvægir nákvæmnisíhlutir í búnaði til að framleiða hálfleiðara oblátur (ef ætarar, efnagufuútfellingarkerfi og jónaígræðslutæki). Meginhlutverk þeirra er að leiðbeina, dreifa og stjórna vinnslulofttegundum (eða hvarfgáfum) og plasma nákvæmlega og beina þeim til að hafa samskipti við yfirborð kísilskúffu undir sérstöku flæðimynstri og orkuástandi. Þetta gerir ferla kleift, þar á meðal þunn-filmuútfellingu, mynsturætingu og yfirborðsbreytingu.
Afköst vöru
- Óvenjuleg slitþol og lengri endingartími: Keramikefni hafa mjög mikla hörku (td 995 súrálkeramik fer yfir Hv1500, með sirkonkeramik jafn framúrskarandi), sem standast í raun og veru langtíma sliti frá fastum ögnum í slurry eins og photoresist og fægilausnum.
- Óvenjuleg efnatæringarþol: Þeir sýna framúrskarandi þol fyrir leysiefnum í ljósþolnum, sterkum sýru/basa hreinsilausnum, hvarfgjörnum lofttegundum og öðrum ætandi efnum, sem sýna ekkert ryð eða efnafræðilegt niðurbrot jafnvel eftir langvarandi notkun.
- Frábær varma- og víddarstöðugleiki: Með afar lágum varmaþenslustuðli viðheldur keramik samræmdu míkróna- eða jafnvel nanómetra-stig svitaholaforms og -víddar við sveiflur í ferlishitastigi.
- Hár yfirborðsfrágangur og lítil mengun: Hertu keramikhlutar geta náð spegils-líkri áferð með nákvæmri keramikvinnslu. Yfirborð þeirra þolir viðloðun agna, eru ekki-segulmagnaðir og auðvelt að þrífa.
- Framúrskarandi einangrun og hagnýtir eiginleikar: Keramik er framúrskarandi einangrunarefni. Súrál býður upp á framúrskarandi einangrunarafköst, sem almennt er notað í súráls einangrunarefni og ZrO₂ einangrandi keramikplötur. Álnítríð keramik sýnir einnig mikla hitaleiðni, hentugur fyrir forrit með sérstakar kröfur um hitastýringu.
Umsókn um vörur
- Plasma ætari: Virkar sem gasúðahaus eða hliðarstútur til að dreifa ætargasi jafnt.
- Efnafræðileg gufuútfellingarbúnaður: Í PECVD- og ALD-ferlum kynnir forveragas jafnt inn í hvarfhólfið.
- Jónaígræðsla: Notað til að stýra og mynda jónageislann.
- Dreifingarofn: Virkar sem gasinnsprautustútur.
Gæðaeftirlit
Við fylgjum nákvæmlega ISO 9001 gæðastjórnunarkerfinu til að tryggja samræmi:
- 100% hráefnisskoðun
- Ítarlegar framleiðslulínur fyrir heita-pressu
- Innan-prófunar: þéttleiki, hörku, örbyggingargreining
- Vottun þriðju-aðila (SGS, CE, ROHS fáanleg ef óskað er)
Viðurkenningar og heiðursmerki
Við búum yfir háþróaðri tækniþekkingu í hertu, mótun, slípun, CNC vinnslu, leysiborun, slípun og fægjaferla, meðal annarra. Við sérsníðum ýmsar keramikvörur í samræmi við kröfur viðskiptavina.
verksmiðjustyrk
Við notum vísindalegar aðferðir og tækni í gegnum hönnunar- og framleiðsluferla vara eða verkefna til að hámarka og auka uppbyggingu þeirra, frammistöðu og framleiðsluferli út frá kröfum viðskiptavina. Þetta ferli er tileinkað því að efla tækni, bæta gæði vöru og draga úr framleiðslukostnaði.
maq per Qat: hálfleiðara keramik stútur, hálfleiðara keramik stútur, framleiðendur, birgjar, verksmiðju
