Framleiðslukerfi efnahagsgufu (CVD) framleiðir efnafræðilega gufuútfellingu kísilkarbíð sem er betri en núverandi kísil karbíð. Háframleiðni kostir afkastamikils SIC fela í sér að lengja þjónustulífi framleiðslubúnaðar, draga úr niður í miðbæ, útrýma mengun og auka ávöxtun. CVD SIC gengur betur en hefðbundin efni í efna- og plasmaumhverfi. Það lækkar kostnaðinn við eignarhald, býr til engar agnir og býður upp á hraðari afköst, styttri hringrásartíma og hærri ávöxtunarkröfu og dregur úr tíma.
| Vöruheiti | Silicon Carbide Focus Ring |
| Efni | Silicon Carbide |
| Litur | Sérsniðið í samræmi við kröfur viðskiptavinarins |
| Stærð | Sérsniðið í samræmi við kröfur viðskiptavinarins |
| Vinnslu nákvæmni | ± 0. 001mm |
| Umbúðir | Öskju \/bretti \/tréhylki (samkvæmt kröfu viðskiptavina) |
| Afhendingartími | Hefðbundin vara með 3 daga |
| Hönnun atriða | Samkvæmt teikningu viðskiptavinarins eða sýni |
| Eiginleikar | Góð gæði, lágt verð, margar verksmiðjur, afhenda þér út frá þeim sem næst staðsetningu þinni |
| Umsókn | Iðnaðar keramik |
| Vottorð | ISO, CE |
Færibreytur keramik
| Númer | Frammistaða | Eining | Silicon Carbide | |
| SISIC | Sic | |||
| 1 | Þéttleiki | g\/cm3 | 3.05 | 3.0-3.1 |
| 2 | Sveigjanleiki styrkur | MPA | 250 | 450-500 |
| 3 | Brot hörku | MPA · M1\/2 | 4 | 4 |
| 4 | Dielectric stöðugur | εr (20 gráðu, 1MHz) | 9~10 | 9~10 |
| 5 | Hörku | GPA | 20 | 24 |
| Hörku | HRC | 85 | 87 | |
| 6 | Hljóðstyrk | Ω · cm (20 gráðu) | 10-2~1012 | 10-2~103 |
| 7 | Teygjanlegt stuðull | GPA | 330 | 440 |
| 8 | Stuðull hitauppstreymis | ×10-6/k | 4.5 | 4.1 |
| 9 | Þjöppunarstyrkur | MPA | 550 | 2500 |
| 10 | Slit | g\/cm2 | 0.01 | 0.01 |
| 11 | Hitaleiðni | W\/m × k (20 gráðu) | 45 | 84 |
| 12 | Hlutfall Poissons | / | 0.16 | 0.16 |
| 13 | Einangrunarstyrkur | kv\/mm | 100 | |
| 14 | Hitastig | gráðu | 1380 | 1600 |
Vöruumsókn
Í hálfleiðara framleiðslu er kísill karbíðfókushringurinn notaður til að stjórna og hámarka plasma etsingu eða útfellingarferli. Nákvæm hönnun og efniseiginleikar þess stuðla að einsleitni og gæðum framleiddra tækjanna. Silicon karbíðfókushringurinn gegnir mikilvægu hlutverki við að ná afkastamiklum og áreiðanlegum rekstri í atvinnugreinum sem krefjast háhitastigs viðnáms, vélrænni stöðugleika og nákvæmrar stjórnunar.
Um okkur
maq per Qat: Silicon Carbide Focus Ring, Silicon Carbid
