Kísilkarbíð fókushringur

Framleiðslukerfið fyrir efnagufuútfellingu (CVD) framleiðir kísilkarbíð úr efnagufu sem er betra en hvaða núverandi kísilkarbíð. Hinir miklu-framleiðnikostir af-afkastamiklu SiC eru meðal annars að lengja endingartíma framleiðslubúnaðar, draga úr niður í miðbæ, koma í veg fyrir mengun og auka afrakstur...

Hringdu í okkur

DaH jaw

Árál Keramikútfellingarhringir þjóna sem mikilvægir neysluhlutar í hvarfhólfum efnafræðilegrar gufuútfellingar (CVD) og líkamlegrar gufuútfellingar (PVD) búnaðar-kjarna í hálfleiðaraflísaframleiðslu. Efnisval þeirra og umsóknarkröfur eru einstaklega strangar. Venjulega eru þær settar upp í kringum obláta burðarefni (rafstöðueiginleikar), þeir eru hluti af viðbragðsrýminu. Í krefjandi framleiðsluumhverfi hálfleiðara er aðalhlutverk útfellingarhringsins að vernda dýra kjarnahluta (eins og rafstöðueiginleikar) fyrir mengun og útfellingu aukaafurða ferlisins, tryggja einsleitni ferlisins og viðhalda hreinleika og stöðugleika hólfsins. Frammistaða þess hefur bein áhrif á spenntur búnaðar, viðhaldskostnað og endanlega flísafrakstur. Slíkir íhlutir falla undir flokkinn nákvæmni súrál keramik vinnslu, krefjast strangar kröfur um mikinn hreinleika og yfirburða frammistöðu súráls keramik efnisins.

Silicon Carbide Focus Ring

Keramik árangursbreyta

product-1314-924

Helstu eiginleikar

Óvenjuleg tæringarþol: Getur staðist veðrun frá ýmsum ætandi, mjög hvarfgjarnum plasmalofttegundum sem notaðar eru í CVD/PVD ferlum, sem tryggir lengri endingartíma.
Yfirburða há-hitaþol: Viðheldur stöðugleika og afköstum við vinnsluhitastig sem nær hundruðum eða jafnvel þúsundum gráðum á Celsíus án aflögunar eða bráðnunar, sem sýnir eiginleika þess sem há-sálkeramik.
Mikill hreinleiki og lítil mengun: Hár-súrálkeramik (td 99,9% eða hærra) lágmarkar losun mengunarefna eins og málmjóna úr efninu sjálfu inn í vinnsluhólfið við háan-hita og plasmaskilyrði, og kemur í veg fyrir oblátamengun.
Framúrskarandi vélrænn styrkur og hörku: Hefur nægilega stífleika til að viðhalda víddarstöðugleika en standast vélrænt álag og uppsetningarkrafta. Sterkir vélrænir eiginleikar mynda grunninn að öllum gerðum -hvort sem súrál keramik plötur, súrál keramik stangir (súrál stangir) eða súrál rör.
Framúrskarandi einangrun: Sem einangrunarefni truflar súrálkeramik ekki viðloðun rafstöðueiginleikans fyrir oblátur, sem tryggir öryggi og stöðugleika ferlisins.
Miðlungs hitaleiðni: Hjálpar til við að jafna hitastigið innan hólfsins á sama tíma og kemur í veg fyrir ofhitnun.
Mikil nákvæmni og vélhæfni: Með háþróaðri keramikmótunartækni og nákvæmni vinnslu er hægt að ná flóknum formum með einstakri víddarnákvæmni og yfirborðsáferð.

Vöruumsókn

Hráefni: Krefjast fíns súrálsdufts, sérstaklega fyrir há-súrálskeramik. Áloxíð (Al2O3) er grunnefnið.
Myndun og sintrun: Felur í sér súrál keramik framleiðendur sem nota tækni til að framleiða súrál keramik eyður.
Nákvæm vinnsla: Framkvæmt af sérfræðingum í súrál keramikvinnslu eða birgjum varahluta, umbreytir eyðum í lokahluta eins og súrál keramik plötur, súrál keramik stangir eða flókna súrál keramik burðarhluti.
Önnur form og notkun: Fyrir utan útfellingarhringa hefur súrál keramik fjölbreytta hálfleiðara notkun, svo sem súrál keramik hvarfefni (al2o3 hvarfefni) fyrir umbúðir, súrál keramik himnur og súrál trefjar rör til einangrunar.