Kísilkarbíð chucks fyrir steinþrykk búnað

Vörulýsing Kísilkarbíð chuck (einnig þekkt sem SiC chuck, silicon carbide keramik chuck, eða porous keramik tómarúm chuck) er einn af kjarnahlutum steinþrykkjabúnaðar (eins og þrepa-og-skannaskannar) sem notaður er til að bera og festa kísilplötur. Það er venjulega...

Hringdu í okkur

DaH jaw

Vörulýsing

Kísilkarbíð chuck (einnig þekkt sem SiC chuck, silicon carbide keramik chuck, eða porous keramik tómarúm chuck) er einn af kjarnahlutunum í steinþrykkjabúnaði (eins og þrepa- og-skannaskanna) sem notaðir eru til að bera og festa kísilplötur. Það er venjulega framleitt úr hár-hreinleika, hár-þéttleika hvarf-bundnu kísilkarbíði (RBSC) eða efnagufu (CVD) kísilkarbíð keramik efni, með nákvæmri röð af lofttæmandi holum á yfirborði þess (ólíkt almennu, gljúpu uppbyggingu fyrir einsleitt griparefni, er þetta griparbúnaður). Meðan á notkun stendur er lofttæmi aðsog notað til að festa diskinn flatt og örugglega við yfirborð chucksins, sem tryggir að oblátan viðheldur mjög miklum staðsetningarstöðugleika og hitastöðugleika meðan á litógrafískri lýsingu stendur. Lykilframleiðendur og kísilkarbíðbirgjar fyrir svo há-notkun eru meðal annars fyrirtæki eins og Saint-Gobain, CoorsTek, Morgan Advanced Materials og Kyocera Fine Ceramics.

Silicon Carbide Chucks for Lithography Equipment

Helstu eiginleikar frammistöðu

Óvenjulegur hitastöðugleiki: Kísilkarbíð efni hefur framúrskarandi hitaleiðni (u.þ.b. 100-200 W/m·K), sem gerir hraða hitajöfnun kleift og dregur úr staðbundinni varma aflögun skífunnar af völdum váhrifaorku. Mjög lágur varmaþenslustuðull hans (u.þ.b. 4,0×10⁻⁶ /K) er nálægt kísils sjálfs, sem tryggir samstillta aflögun við skífuna við mismunandi hitastig og viðheldur nákvæmni jöfnunar. Þessir betri eiginleikar kísilkarbíðs eru mikilvægir.
Framúrskarandi stífni og hörku: SiC keramik hefur háan Young's stuðul og mikla hörku, sem tryggir lágmarks aflögun á spennuhlutanum undir lofttæmi aðsogskrafti og vélrænu álagi, og veitir þar með stöðugan, stífan stuðning. Þetta gerir hertu kísilkarbíð (SSIC) eða endurkristallað kísilkarbíð (RSIC) tilvalið val.
Frábær flatleiki og yfirborðsgæði: Vinnuflötur spennunnar, oft gert úr alfa kísilkarbíði eða CVD SiC fyrir æðsta hreinleika, gengst undir ofur-nákvæmni fæging. Þetta nær alþjóðlegri flatneskju venjulega betri en 1 míkrómetra og staðbundinni flatneskju á nanóskala. Mjög lítill yfirborðsgrófleiki (Ra getur náð undir 1 nanómetra) lágmarkar snertibilið við bakhlið skúffunnar, bætir einsleitni aðsogs og skilvirkni hitaleiðni.
Framúrskarandi efnafræðilegur stöðugleiki og hreinleiki: Kísilkarbíð keramik er ónæmt fyrir sýru og basa tæringu og er minna tilhneigingu til að mynda agnamengun. Hægt er að fínstilla yfirborðseiginleika þess enn frekar með húðun (td sérhæfðri SiO₂ eða CVD Sic húðun), sem uppfyllir kröfur um mjög -mikið hreinleikaumhverfi í hálfleiðaraframleiðslu.
Lítil útgasun og mikil lofttæmisheilleiki: Efnið er þétt með mjög lágt grop (ólíkt almennum gljúpum keramikefnum sem notuð eru í síur), sem leiðir til lágmarks losunar við lofttæmi. Þetta hjálpar til við að viðhalda stöðugum aðsogskrafti og skilvirkni tómarúmskerfisins.

ceramicstimes performance parameter

Kjarnaforrit

Kísilkarbíð chucks (eða keramik tómarúm chucks) eru fyrst og fremst notaðar á oblátastigi háþróaðra steinþrykkjavéla. Kjarnahlutverk þeirra eru:

Nákvæm staðsetning og festing: Við litógrafíska lýsingu er skífunni þétt haldið á sínum stað með lofttæmi aðsogs, sem kemur í veg fyrir allar örhreyfingar og tryggir staðsetningarnákvæmni (yfirlagsnákvæmni) í mynsturflutningi.
Hitastjórnun: Dreifir fljótt hita sem myndast á skífunni af váhrifagjafanum (sérstaklega í DUV og EUV steinþrykk), lágmarkar varmaþenslu og röskun á skífunni. Þetta skiptir sköpum til að stjórna brenniplani myndatökunnar og tryggja einsleitni mikilvægrar víddar.
Viðhalda sléttleika: Veitir ofur-flötu, stöðugu viðmiðunarplani fyrir skífuna, sem bætir upp lítilsháttar skekkju á skífunni sjálfri. Þetta tryggir að allt lýsingarsviðið liggi innan ákjósanlegrar fókusdýptar ljóskerfis steinþrykkjaverkfærsins.
Aðferðarsamhæfi: Stöðugir eðlis- og efnafræðilegir eiginleikar þess gera það kleift að standast umhverfi sem tengist steinþrykkferlisþrepum eins og hreinsun og bakstri.