Vörulýsing
Á fremstu sviði-hálfleiðaraframleiðslu þjóna súráls keramikhólfsinnlegg sem fóður og kjarnanotkunarefni fyrir mikilvæg vinnsluhólf. Með óvenjulegum efniseiginleikum þeirra veita þau stöðugt, hreint og endingargott hvarfumhverfi fyrir kjarnaferla eins og flísætu, þunnt-filmuútfellingu (CVD/PVD) og jónaígræðslu. Frammistaða þeirra hefur bein áhrif á vinnslunákvæmni, framleiðsluávöxtun og rekstrarkostnað búnaðar.
Afköst vöru
- Óvenjulegt tæringarþol í plasma: Við ætingu og CVD ferla eru hólf fyllt með-orku, mjög hvarfgjörnu plasma (td flúor- eða klór-undirstaða). Hár-súrálkeramik sýnir mikla efnafræðilega tregðu, þolir í raun sprengjuárásir og efnaveðrun frá slíkum plasmavöldum.
- Óvenjulegur hreinleiki og lítil mengun: Mikill hreinleiki 99,9% súráls keramiks-og jafnvel 99,99% súráls keramiks-tryggir lágmarks losun málmjóna (td Na, K, Fe) eða annarra óhreininda við háan-hita og plasmaskilyrði.
- Yfirburða hár-hitastöðugleiki og lágt útgashraði: Hár-hitaþolið-sálkeramik heldur langtímastöðugleika við 1600 gráður. Tiltölulega lágur varmaþenslustuðull þeirra leiðir til lágmarks aflögunar við endurteknar hitauppstreymi.
- Óvenjulegur vélrænn styrkur og stífni: Þrátt fyrir að vera keramik, sýnir há-súrálkeramik framúrskarandi sveigjustyrk og hörku (Mohs hörku 9, næst á eftir demanti). Það þolir vélrænt álag og samsetningarálag, sem tryggir burðarvirki hólfsins.
- Framúrskarandi einangrunareiginleikar: Sem framúrskarandi rafmagns einangrunarefni einangrar það plasma á áhrifaríkan hátt frá málmholum, sem hjálpar til við nákvæma stjórn á formgerð og dreifingu plasma.
- Hitaáfallsþol: Með bjartsýni efnasamsetninga og örbyggingarstýringar, sýnir nútíma súrálsbyggingar keramik aukið hitalostþol, sem gerir þeim kleift að standast hraðar hitasveiflur meðan á vinnslu stendur og dregur úr hættu á sprungum.
Vöruumsókn
- Að vernda aðalhólfið: Kemur í veg fyrir að aukaafurðir viðbragða sem myndast við ferlið (ef filmuefni og aukaafurðagnir) setjist beint á dýra og erfiða-að-þvo fasta veggi hólfsins og mikilvæga íhluti sem er erfitt að þrífa, lengir endingartíma aðalbúnaðarins verulega og dregur úr viðhaldskostnaði.
- Viðhalda hreinleika ferlisins: Dragðu úr agnauppsprettum í hólfinu með því að fanga mengunarefni og aukaafurðir. Þegar innskotsfletir verða óhóflega þykkir eða mjög mengaðir er hægt að skipta þeim beint út, sem endurheimtir fljótt hreinleika hólfsins og tryggir afrakstur vörunnar.
- Fínstilltu vinnsluafköst: Ákveðnar innsetningar (ef gasdreifingarplötur) taka beinan þátt í ferlinu og tryggja jafna dreifingu hvarflofttegunda innan hólfsins. Þetta tryggir einsleitni í filmuútfellingu eða ætingu.
gæðaeftirlit
Við fylgjumst nákvæmlega með ISO 9001 gæðastjórnunarkerfinu til að tryggja stöðug vörugæði:
- 100% skoðun á hráefnum til að tryggja gæði frá uppruna;
- Nýting háþróaðra framleiðslulína fyrir heita-pressu fyrir nákvæma og áreiðanlega ferla;
- Innan-frammistöðuprófun, þar á meðal þéttleika, hörku og greiningu á örbyggingu;
- Hafa þriðju-viðurkennd vottorð (eins og SGS, CE, ROHS, fáanleg ef óskað er).
Viðurkenningar og heiðursmerki
Fyrirtækið hefur hlotið viðurkenningu sem þjóðlegt hátæknifyrirtæki og er leiðandi hæfileikaverkefni í „Landi framúrskarandi fræðimanna“ í Shaoxing-borg. Óvenjulegt rannsóknar- og þróunarteymi okkar samanstendur af prófessorum og doktorum sem sérhæfa sig í háþróuðum keramikefnum og íhlutum, þar á meðal kísilkarbíði, há-hreinleika kísilkarbíði, bórkarbíði, demantkísilkarbíði, yttríumoxíði, áloxíði og álinítríði. Við höfum lagt fram yfir 30 kínversk einkaleyfi. Við búum yfir háþróaðri tækniferlum, tökum á aðferðum eins og hertu, mótun, slípun, CNC vinnslu, leysiborun, lappa og fægja. Við sérsníðum allar tegundir af keramikvörum í samræmi við kröfur viðskiptavina.
verksmiðjustyrk
Stafrænu verkstæðin okkar, Intelligent Factory og-rauntímagagnaöflunarkerfi nýta sléttar framleiðslureglur til að lágmarka sóun og hámarka auðlindanýtingu. Með því að innleiða CNC vinnslutækni, Industrial Internet of Things (IIoT) tækni og sjálfvirk stjórnkerfi náum við óaðfinnanlegum tengingum og samstarfsaðgerðum á milli framleiðslutækja og hámarkum þar með framleiðslusparnað.
maq per Qat: hólfainnskot, kammerinnskot framleiðendur, birgjar, verksmiðja
