Hálfleiðari Molar Keramik hringur

Hálfleiðara molar keramikhringurinn vísar venjulega til mikilvægs keramikhlutar sem notaður er í hálfleiðaraframleiðslu og há-afls rafeindabúnaði. Hugtakið „Molar“ í nafni þess kemur líklega frá vörumerki eða sérstakri röð, sem venjulega vísar til hringlaga-laga burðarhluta sem eru gerðir úr há-keramikefnum (eins og súráli, álinítríði, kísilnítríði osfrv.). Með því að nýta framúrskarandi eðlis- og efnafræðilegan stöðugleika sinna þessir keramikhringir kjarnaaðgerðir eins og einangrun, þéttingu, burðar-burðargetu og hitaflutning í erfiðu iðnaðarumhverfi. Þeir eru nauðsynlegir þættir til að tryggja stöðugan og áreiðanlegan rekstur hálfleiðara vinnsluhólfa, ætingarbúnaðar, útfellingarbúnaðar og afleiningar.

• Framúrskarandi rafmagns einangrun: Hefur ákaflega mikla viðnám og rafstyrk, einangrar í raun háspennu, kemur í veg fyrir straumleka og tryggir öryggi búnaðar.
• Framúrskarandi varmastöðugleiki: Er með áberandi háa-hitaþol (oft hægt að nota til lengri-tíma yfir 1000 gráður), lágan varmaþenslustuðul, sprunguþol við hraða hitauppstreymi og góða hitaáfallsþol.
• Hár vélrænn styrkur: Hár hörku, góð slitþol, með góðan sveigju- og þjöppunarstyrk, sem getur staðist ákveðna vélræna álag og samsetningarþrýsting.
• Frábær efnatregðu: Býður upp á framúrskarandi viðnám gegn flestum ætandi lofttegundum, plasma og sterku sýru/basa umhverfi, sem lágmarkar efnahvörf eða mengun í ferli umhverfisins.
• Góð tómarúmþéttingarárangur: Viðheldur stöðugum þéttingarafköstum við há-hitastig og há-tæmisskilyrði, sem uppfyllir ofur-mikið lofttæmiskröfur hálfleiðaraferla.
• Tilvalin hitastjórnunareiginleikar: Sumar gerðir af mikilli varmaleiðni (td álnítríð keramikhringir) hafa mikla varmaleiðni, leiða og dreifa hita sem myndast við notkun búnaðar á áhrifaríkan hátt.

Material: Common materials include high-purity alumina (Al₂O₃, content >96%), álnítríð (AlN), kísilnítríð (Si₃N₄) o.s.frv.

Stærðarsvið: Innra þvermál getur verið frá nokkrum millimetrum til nokkur hundruð millimetra; ytri þvermál og hæð eru sérsniðin miðað við sérstaka hönnun.

Rekstrarhitastig: Þolir hámarkshitastig frá 1200 gráður til 1800 gráður (fer eftir efni).

Varmaleiðni: Súrál er um það bil 20-30 W/(m·K); álnítríð getur náð 150-200 W/(m·K).

Rúmmálsviðnám: Venjulega meira en 10¹² Ω·cm við stofuhita.

Rafmagnsstyrkur: Venjulega á bilinu 10-20 kV/mm.

Sveigjanleiki: Súrál keramik um 300-400 MPa; kísilnítríð keramik getur verið allt að 600-800 MPa.

• Hálfleiðaraframleiðslubúnaður: Víða notaður í vinnsluklefum búnaðar eins og plasmaætingu (Etch), efnagufuútfellingu (CVD) og eðlisfræðilega gufuútfellingu (PVD). Þjónar sem einangrunarhringir, fókushringir, hólffóður eða hlífðarhringir til að loka plasma, vernda hólfaveggi, gera ferli umhverfisins einsleitt og koma í veg fyrir agnamengun.
• Afl rafeindaeiningar: Notaðar í umbúðum tækja eins og IGBT, há-díóða og leysir sem einangruð hitaleiðni hvarfefni eða stuðningshringir fyrir rafeinangrun og skilvirka hitaleiðni.
• Tómarúmskerfi: Notað fyrir einangraðar tengingar, gegnumstreymisþéttingar og burðarvirki í há-tæmi eða ofur-háu- lofttæmiskerfi.
• Vinnslubúnaður fyrir háan-hita: Virkar sem settar, ofnafóðringar eða stuðningseiningar í sintunarofnum og hitameðferðarofnum.
• Ný orku- og aflsvið: Notað í þunnt-ljósmyndavélaframleiðslutæki, efnarafalastakka og sem einangrunaríhluti í háspennu rafbúnaði.
• Lækna- og rannsóknarbúnaður: Virkar sem lykilhlutir í greiningartækjum, hröðum og öðrum nákvæmnibúnaði sem krefst mikils lofttæmis, mikillar einangrunar eða tæringarþols.

Við fylgjum nákvæmlega ISO 9001 gæðastjórnunarkerfinu til að tryggja samræmi:

• 100% hráefnisskoðun
• Ítarlegar framleiðslulínur fyrir heita-pressu
• Innan-prófunar: þéttleiki, hörku, örbyggingargreining
• Vottun þriðju-aðila (SGS, CE, ROHS fáanleg ef óskað er)

maq per Qat: hálfleiðara mól keramik hringur, hálfleiður mól keramik hringur framleiðendur, birgjar, verksmiðju