Sem stendur er alþjóðlegur hálfleiðara- og hágæða ljósframleiðsla iðnaðurinn kominn inn í tímabil hraðrar endurtekningar og byltinga í nákvæmni. Stöðugar framfarir háþróaðra vinnsluhnúta og áframhaldandi uppfærsla á háþróaðri-búnaði knýja kjarnaíhluti í átt að öfgafullum áttum smækkunar, ofur-mikillar nákvæmni, ofur-mikilli samþættingu og miklum stöðugleika. Hvort sem það eru háþróaðar samþættar hringrásarplötur, háþróaðar ljósfræðilegar íhlutir í steinþrykkvélum eða stórum-ristum, bráðnuð kísil, grímuundirlag og önnur sjónræn kjarnatæki, eru áður óþekktar strangar kröfur gerðar um flatt yfirborð, sléttleika og gallalaust-gæði. Nákvæmni vinnslunnar hefur þegar náð nanómetra eða jafnvel undir{10}}nanómetrastigi.
Með hliðsjón af þessu, Chemical Mechanical Polishing (CMP), sem eina kjarnavinnslutæknin sem getur náð alþjóðlegri {{0}nákvæmni planarization, gegnsýrir allt framleiðsluferlið samþættra rafrása og nákvæmnisljóstækja, sem gerir það að óbætanlegu lykilferli í háþróuðum framleiðslukeðjum. Frammistöðuþak CMP ferlisins fer mjög eftir alhliða eiginleikum fægiefnanna. Hágæða-slípiefni og slípiefni eru grundvallaratriðin til að ná fram mjög-nákvæmri vinnslu, litlum skemmdum og mikilli skilvirkni.
Meðal ýmissa slípiefnakerfa geta yfirborðsvirkir staðir ceria-slípiefna hvarfast við kísil-efni og myndað mýkra efnahvarfalag sem er síðan fjarlægt með vélrænum núningi. Þessi vélbúnaður skilar sléttara yfirborði á meðan viðheldur háu flutningshraða. Rannsóknir hafa sýnt að lyfjabreytingar á cerium geta stillt fægjavirkni þess enn frekar, passa betur við eiginleika vinnsluhlutans og aukið nákvæmni fægja, sem gerir það mjög hentugur fyrir ofur-nákvæmni vinnslukröfur hálfleiðara. Þess vegna hefur þróun samsettra fægjaefnakerfa sem byggir á ceríu- orðið almenn rannsóknaráhersla og lykiliðnaðarstefna á núverandi CMP sviði.
Hins vegar er hagnýt beiting innanlands framleidd samsett slípiefnakerfi enn takmörkuð af mörgum verkfræðilegum vandamálum, svo sem ófullnægjandi fínstillingarstýringu, auðveldri þéttingu nanó-slípiefna, lélegan dreifingarstöðugleika og ófullnægjandi stöðugleika-í-lotu. Þar að auki, sérsniðin samsetningarhönnun fyrir mismunandi efni í vinnustykki (td kísilskúffur, steinþurrkahlutar, bræddur kísil, kvarsgrímur osfrv.) býður einnig upp á ákveðnar áskoranir. Hvernig á að stjórna nákvæmlega formgerð og dreifileika nanó-ceríuefnis, hámarka fægjaafköst með breytingum og samsettum aðferðum og byggja upp skilvirk fægjakerfi sem henta fyrir hágæða forrit er orðinn tæknileg vandamál sem allur iðnaðurinn einbeitir sér að og þarf að leysa.