Prófessor Shangci Shi: Afkastamikill súrál keramik fyrir hálfleiðara búnað-framleiðslutækni
„Chokepoint“ tæknin í hálfleiðara iðnaði Kína er mikilvægur flöskuháls sem verður að vinna bug á til að ná fram tæknilegri sjálfbærni . frá sjónarhorni efna eru háþróaðar keramik sérstaklega bráðar áskoranir og hálfleiðandi eftirspurnarferli með undantekningu, tæringu, sem er með ígræðslu, og jónígræðslu. hitauppstreymi, mikill vélrænn styrkur og stífni .
Ýmsir háþróaðir keramik, þar með talið kísilkarbíð (sic), cordierite og álnítríð (ALN) -Each Excel í sérstökum forritum . Hins vegar hafa afkastamiklar súrálkeramíkir komið fram sem ráðandi efni í hálfleiðara búnaði í dag {5 {
Samt sem áður, að uppfylla strangar afköst kröfur hálfleiðara iðnaðarins, eru hins vegar margvíslegar áskoranir í andstreymis, þar með talið hagræðingu á samsetningu, fínstillingu, búnaðargetu, hráefni gæði (E . g ., duft og aukefni), svo og langvarandi niðurfellingar, sem eru í gildum, sem eru með miklar hæfi og aukefni . Þessar niðurstöður um að setja upp POS alumina ceramic suppliers while simultaneously creating innovation opportunities. To address the application requirements of ceramic components in semiconductor equipment, this article provides a detailed introduction to the raw material properties, forming processes, sintering technologies, and precision machining methods for manufacturing high-performance alumina ceramics. Additionally, by analyzing the current applications of Dæmigerður súrál keramikíhluti í hálfleiðara búnaði, prófessor Shangci Shi kynnir þróun þróun innlendra keramikíhluta fyrir hálfleiðara tæki í Kína .
Búist er við að þessi innsæi umræða, sem sameinar tæknilega greiningu og sjónarmið iðnaðarins, muni bjóða upp á nýjar hugmyndir og hagnýtar leiðbeiningar fyrir keramik R & D súrál, búnaðarframleiðslu og innlenda skiptingu .
Þessar framfarir sýna fram á hvernig efnislegar nýjungar gera kleift að nota næstu kynslóð sem er til að draga úr erlendum birgjum .} árangursríkri þróun slíkra sérhæfðra keramiklausna þarf náið samstarf í allri framboðskeðjunni-frá duftframleiðendum til búnaðar OEM og endanotenda .} frá duft