Með óvenjulega eiginleika eins og háa-hitaþol, tæringarþol í plasma, miklum hreinleika og mikilli rafeinangrun, þjónar háþróað keramik sem mikilvæg hráefni fyrir lykilþætti í hálfleiðarabúnaði í öllu ferlisflæðinu-þar með talið ætingu, þunnri-filmuútfellingu, steinþrykk, pökkun/hreinsun og. Þessir íhlutir hafa bein áhrif á flísafrakstur og stöðugleika búnaðar. Þessi grein, byggð upp í kringum flísaframleiðsluferlið, fer yfir notkun keramikhluta í innlendum búnaðarframleiðendum, framfarir í iðnaði og núverandi ástand innflutningsskipta, ferli fyrir ferli.
I. Wafl Framleiðsla
Lykilíhlutir og efni: keramikbakkar, keramikhitarar, hálfleiðaralokar, lofttæmishólfshlutar (Al₂O₃, Si₃N₄, SiC, osfrv.)
Lykilkröfur um frammistöðu: hár hreinleiki, hár-hitaþol, hitaáfallsþol, mikil flatleiki – til að styðja við undirbúning undirlags fyrir sílikonplötur.
II. Varmavinnsla (oxun / dreifing / glæðing)
Lykilíhlutir og efni: SiC bátar, keramikhlutar í ofnrör, keramikhitarar, keramikstútar, keramiklokar
Lykilkröfur um frammistöðu: hár-hitaþol (hærra en eða jafnt og 1200 gráður), hitaáfallsþol, lítil losun, hár hreinleiki – hentugur fyrir há-hitaoxun/dreifingu/glæðingarferli.
III. Þunn-kvikmyndaútsetning
Lykilhlutar og efni: keramikhitarar (AlN, Al₂O₃, Si₃N₄); útfellingarhringir, hólffóður, gasdreifingarhlutir (SiC, Al₂O₃)
Lykilkröfur um frammistöðu: hár-nákvæmni einsleitni hitastigs innan ±1 gráðu, framúrskarandi varmastöðugleiki, lítil útgasun, viðnám gegn mikilli-aflögun hita – hentugur fyrir langa-samfellda útfellingu.
IV. Steinþrykk og húðun/þróun
Lykilíhlutir og efni: nákvæmnisþrep, keramik lofttæmi, grímuhaldarar, titrings-dempandi undirstöður (cordierite, SiC, lágt-þenslugler-keramik eins og Zerodur); fyrir hlífðar-/þróabúnað: keramikarmar, örgopóttar keramik chucks, tómarúmfingur
Lykilkröfur um frammistöðu: ofur-lágur varmaþenslustuðull, nanó-ofur-sléttleiki, mikil stífni, titringsdeyfing – til að tryggja mikla-nákvæmni útsetningu í steinþrykk; húðunar-/þróunarhlutar þurfa einnig efnafræðilega tæringarþol og litla agnamyndun.
V. Æsing
Lykilhlutar og efni: rafstöðueiginleikar (Al₂O₃, AlN); fókushringir, sturtuhausar, gasdreifingarplötur, hólffóður (SiC, Y₂O₃ sem húðunarefni)
Lykilkröfur um frammistöðu: tæringarþol í plasma, ofur-mikill hreinleiki, lítill agnalosun, mikil rafeinangrun – hentugur fyrir há-tíðni og há-ætingu.
VI. Jónaígræðsla
Lykilíhlutir og efni: keramik skrúfa lokar, einangrandi keramik burðarhlutar, há-tæringarþolinn-hitaþolinn keramik hluti
Lykilkröfur um frammistöðu: hár hreinleiki, mikil-spennuþol, lítil útgasun, víddarstöðugleiki – hentugur fyrir jóngeislaflutning og einangrun.
VII. CMP (Chemical Mechanical Planarization)
Lykilhlutar og efni: keramik chucks, keramik vinnuborð, porous keramik plötur
Lykilkröfur um frammistöðu: mikil flatleiki, mikil stífni, slitþol, efnatæringarþol - til að styðja við flatarmál flötunnar.
VIII. Þrif
Lykilíhlutir og efni: keramikstútar, keramiklokar, tæringarþolnir keramikbyggingarhlutir-
Lykilkröfur um frammistöðu: viðnám gegn sterkum sýrum/basa, hár hreinleiki, lítil agnalosun – hentugur fyrir blautt hreinsunarumhverfi.